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對于化學動力學范圍而言，過程的總速度由化學反應所控制；對于擴散動力學范圍而言，擴散速度決定整個反應速度。由于固相反應一般都伴有物質的遷移擴散，且通常速度較慢，因此一般過程速度都由擴散速度控制。

由于固相反應過程包括界面的化學反應和相內部的物質傳遞兩個步驟，因此，除了反應物的化學組成和結構狀態及溫度、壓力等因素外，凡是可能活化晶格，促進物質的內外擴散作用的因素都會對反應起影響。